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化学过滤器

发布日期:2024-02-22  点击量:10716

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化学过滤器

针对不同使用环境的化学过滤器

在半导体生产过程中,不仅微小的颗粒甚至是极其微量的化学污染也会降低产品的合格率。

因此,半导企业通过安装高效率的化学过滤器,实现洁净的生产环境。

我司生产的化学过滤器,能够有效地去除半导体工厂中的AMCs物质。

AMCsAirbome molecular contamination ) 是半导体生产当中各种化学污染物质的统称(有机,碱性,酸性气体)。

特点:

1.去除效率高达90%以上

2.使用寿命长

3.精良的制造技术,安装方便

4.一条龙服务(从附着剂加添,产品组装到安装)

5.可以按照客户的要求设计过滤器

适用范围:

1.半导体,LCD等超精密制造工艺

2.恶臭以及有害气体容易产生的地方

3.医院,博物馆公共场所等对空气环境要求高的场所

主要产品

1.● CAFILDEX® PL系列

规格

CAFILDEX PL系列

大小  (W*L*D/mm)

610*610*150T (接受非标定做)

效率(%)

< 90

速度  (m/s)

~ 2.5 

差压(mmAq)

~ 15.0

媒介

IER, IAC, IA,吸附剂

框架

AL, GI, SUS

适用对象

FFU, EFU, MAU, RAU

目标气体

NH3, tAcid, VOCs

2.● CAFILDEX® TY系列

规格

CAFILDEX TY系列

大小  (W*L*D/mm)

610*610*450T (接受非标定做)

效率(%)

< 90

速度  (m/s)

~ 2.5

差压(mmAq)

~ 15.0 

媒介

IER, IAC, IA,吸附剂

框架

AL, GI, SUS

适用对象

MAU, RAU

目标气体

NH3, tAcid, VOCs

3.● CAFILDEX®  CE 系列

规格

CAFILDEX® CE系列

大小  (W*L*D/mm)

572*1167*55T (接受非标定做)

效率(%)

< 90

速度  (m/s)

~ 0.45

差压(mmAq)

~ 3.0

媒介

IER, IAC, IA, 吸附剂

框架

AL, GI, SUS

适用对象

FFU, EFU, MAU, RAU

目标气体

NH3, tAcid, VOCs

4.● CAFILDEX® BT 系列

规格

CAFILDEX BT系列

大小  (W*L*D/mm)

640*640*470 (接受非标定做)

效率(%)

< 90

速度 (m/s)

~ 0.45

差压(mmAq)

~ 3.0

媒介

IER, IAC, IA,吸附剂

框架

AL, GI, SUS

适用对象

FFU

目标气体

NH3, tAcid, VOCs

5

 CAFILDEX® SW系列

规格

CAFILDEX SW系列

大小 (W*L*D/mm)

610*610*200T (接受非标定做)

效率 (%)

< 90

速度  (m/s)

~ 2.5

差压(mmAq)

~ 15

媒介

IER, IAC, IA,吸附剂

框架

AL, GI, SUS

适用对象

FFU, EFU, MAU, RAU

目标气体

NH3, tAcid, VOCs



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